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鉬棒鉬絲等純鉬材料與半導(dǎo)體配線材料用高純鉬的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2020-05-21 05:56:10 瀏覽次數(shù) :

在難熔金屬中,鉬及其合金有良好的導(dǎo)熱、導(dǎo)電性和低的膨脹系數(shù),在高溫下(1100~1650℃)有高的強(qiáng)度,與鎢相比,容易加工,因而其制品在航天及核工業(yè),電子、建材、儀表等行業(yè)都有著廣泛的應(yīng)用。正中金屬結(jié)合實(shí)際鉬合金生產(chǎn)加工經(jīng)驗(yàn),將用于鉬棒鉬絲的純鉬與高科技領(lǐng)域用高純鉬,給大家分享如下:

1、純鉬

包括燒結(jié)的鉬制品(如坩堝等)及一般應(yīng)用的加工鉬板、鉬棒、鉬帶、鉬絲、鋁片及異型材等,它們?nèi)允倾f材應(yīng)用的主要形式,并占鉬材應(yīng)用的很大比例。

鉬棒

2、高純鉬

大規(guī)模集成電路的發(fā)展提出了應(yīng)用鎢、鉬作為其布線材料、阻擋層及門(mén)材料等的要求。主要用作鉬靶和硅化鉬靶材、半導(dǎo)體和配線材料,以及其他高新技術(shù)用材,還用于火箭噴嘴、催化劑、化學(xué)試劑等。這類(lèi)材料要求極高的純度(至少達(dá)到5N或6N),因此材料的制取需要化學(xué)和物理的特殊純化處理。目前國(guó)外已由研究階段發(fā)展進(jìn)入工業(yè)應(yīng)用階段,國(guó)內(nèi)還處于研究的初級(jí)階段。

高溫鉬絲

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